“这你怕甚么?个人很快就能获得一笔一亿美圆以上的订单,到时候天然有资金持续停止投入……”赵大健说了两句,俄然认识到当下的场合,赶紧收住了嘴巴,冷冷的哼了一声道:“这个题目上面自有考虑,激光尝试室先把石英质料的实验停下,做一做镥铝柘榴石的预研吧。”
城三太郎翻开尝试记录,粗粗的扫了两眼,不由得就是暗自心惊。各种光波在分歧材质当中穿行,产生的窜改都不不异。193nm的准分子激光,想要利用在光刻机上,就必须对镜头停止全新设想。在此之前就必须详细的实验新质料,全面的体味镜头对激光产生的统统影响。
当今国际上,如果把芯片出产技术分红三个层次。那么1.2到0.8微米,能够算是上点层次的三流技术,至于1.2微米以上、乃至2微米以上的技术,已经根基没有存在的代价了。而0.5微米技术,能够算是二流技术,是现当代界上晶圆厂的支流程度。至于0.35微米工艺,就连尼康也不过才方才把握罢了。
准分子激光普通是由氙气二聚体等惰性气体或卤素气体,遭到电子束激起构成的激光。光子能量波长范围在157-353nm之间,因为激光是在气体遭到外来能量的激起,所引发的一系列物理及化学反应中,曾经构成但转眼即逝的分子收回的,以是被称之为准分子激光。
“赵桑,这些数据都是你们本身的镜头,测试出来的成果吗?”城三太郎非常焦心的问道,他如许的题目能够说是非常的不规矩,但这个时候已经没有表情去计算这类小事了。
江清月在世人进入的时候,正操纵着一台氟氩气体激起的准分子激光器,测试将激光光源停止多次聚焦以后再规复成平行状况。
“我们的实验正在测试高密度石英质料制作的镜头,在颠末多次反射折射以后,停止色差赔偿的计划……”
从尝试记录的成果上面来看,明显泛翰个人已经对高密度石英,停止了全面的激光测试。测试进度起码已经达到了80的程度,要晓得当全数测试完成以后,接下来要停止的就是镜片设想事情了。进入这个阶段,根基便能够看作是0.35微米工艺光刻机技术开辟,进入到最后的步奏了。
作为尼康光刻机项目标参与者,城三太郎对当前最早进的0.35微米工艺光刻机,透镜的安插当然是了若指掌。他百分之百的必定,泛翰个人目前已经摸到了这项技术的门路,实现技术冲破恐怕只是时候题目了!
想来泛翰个人依仗的,就是华晶那笔庞大的采购计划。如果国际上仍然对峙对华技术禁运,那么这笔上亿美圆的订单,必定就会落在他们的头上,当然也就会度过这段资金严峻的期间。城三太郎俄然想到:如果这个时候,本来不会了局的尼康,俄然抢走了他们这笔买卖……rs
江清月迷惑的看了赵大健一眼,她在泛翰研讨院只是比较基层的研讨员,级别是比不上赵大健的。但赵大健卖力的是运营部,本身又管不到技术部的事情。她昂首向内里看去,却见到笑扉扉站在门外微微的点了点头,这才放下了心来。
“小江啊,快来我给你先容一下!”赵大健呵呵笑着,摆了摆手说道:“这是日本东芝来我们泛翰研讨院的考查团,给国际朋友们汇报一下我们的研讨进度,说不定还能给你的项目指导一二呢。”