他对反复投影式暴光技术并不陌生，如果说沉浸式光刻技术是左道傍门，那投影式暴光就是王谢正道！光刻机晋升机能的首要体例，大多都是通过增加光学体系精度实现的――而反复投影暴光技术，能够说是将这类思路持续到了极致！
因而在本来的汗青上，尼康也好、阿斯麦也好都挑选了另一条路，那就是非打仗式暴光。也就是投影式暴光技术。
在0.35微米工艺及之前，光刻机光学掩膜版的制作要求是非常高的。根基上和出产的芯片，是一对一全比例设想。
可惜，鹤田必定是不敢咬死人的。
“呵呵，是不是真的，尼康能够本身求证一下。”周硕无所谓的耸了耸肩，轻松的笑道。
在鹤田和统统日本人看来，中国人能拿出沉浸式光刻技术纯粹就是瞎猫碰死耗子，归正搞举国体制不恰是共产国际的刚强嘛！
“五个亿？”鹤田吓了一跳，惊骇的看着周硕，矢口否定道：“甚么五个亿，我们尼康那里需求付出五个亿的违约金？”
他现在拿出来的这份文件，天然就是投影式光刻机的技术专利，能够说这项技术一出防水光刻胶就是一个废料了！
“呵呵，看来鹤田桑真是朱紫多忘事。”周硕不觉得意的耸了耸肩，暴露一口洁白的牙齿笑道：“您能够想想看，如果阿斯麦获得了反复投影暴光技术，intel是否还会如许有耐烦的等候下去？”
你们要不要这么逆天？！
“如何，尼康现在不想把我扫地出门了？”周硕低头抠动手指甲，心不在焉的问道。
“周桑这话是甚么意义？”鹤田的脸上可贵呈现了一丝慌乱，强笑道：“你知不晓得尼康是甚么公司，岂是能说停业就停业的？”
intel现在是求着尼康供货，而不是尼康求着intel。这五个亿美圆的违约金好拿不好用，除非intel今后再也不进级光刻机工艺程度，不然如何敢这么获咎尼康？
除了沉浸式光刻技术这类独辟门路的取巧之道，日本人毫不信赖泛翰个人还能在其他方向产生冲破，他们手里的底牌也就是仅此罢了。
鹤田刚开端还不觉得然，在他的内心早就已经以为泛翰个人是砧板上的鱼肉。那里另有甚么翻盘的机遇？
“鹤田桑敢做不敢认，这就太没有男人汉气势了。”周硕淡淡的说道：“既然尼康不想收买我手里的股分了，那我们就谈谈你们手里那51%的股分吧。”
“呃，谈谈你手里的技术。”鹤田老脸一红，如许的窜改未免过分生硬了一些，不过这时候却也顾不得了：“说实话为了实现利润最大化，现在就公布投影步进式光刻技术并不是一个好主张。要我说大可当作储备技术，等我们在沉浸式光刻机上面赚到对劲以后，再放出这项技术来。”
“周桑……这个文件是真的？”鹤田张了张嘴，脑袋里一团乱麻，只能问出这么没有营养的题目了。
一个月五亿美圆的违约金确切是高，但intel也要有这个胆量来收。
周硕哦了一声，挑了挑眉说道：“那是我说错话了，尼康每月五个亿的违约金都能付出的起？”
对于沉浸式光刻技术而言。投影式暴光技术最大的好处就是――制止了利用防水光刻胶的高本钱。
这个年代里，日本人不但是高傲的，并且也非常有高傲的本钱。全部九十年代，天下十大晶圆厂，日本人占了半数还多！
这类技术说白了，就是仿佛平常用放大镜堆积太阳光一样。用棱镜体系将光源从远处投射到硅片上。如许颠末几次聚焦、折射、再聚焦，终究投影到硅片上的图形比掩膜版乃至能够小上4倍。