真正的高纯度去离子纯水有些微微偏蓝,而不是我们惯常见到的透明色。白石茉莉奈只能通过机器操纵的对准体系运转,来判定光刻机是否在事情。因为她是看不到激光色彩的,这是因为光刻的激光高度集合底子不会散射出来,人眼天然也就无看到激光的存在。
书归正传,尼康颠末一周时候的尽力,多少还是有些收成的。起码从比较高的层次上,获得了一个精确的动静――海内并不会反对0.25微米工艺的光刻机向外洋出口。中国当局当然不会反对,有人说你彩票中了一亿的时候,借给我一百万行不可?当然行了。归正我又不会中一亿彩票。
同理,要中国当局承诺出口0.25微米光刻机。这本来就是空对空的事情。想出口?行啊,归正我们现在还没有这个技术呢。
在光刻机最后一组镜头的上面,有别于尼康的设备,泛翰研讨所的光刻机分外多出了一个玻璃罩。玻璃罩的摆布有两个小水管。白石茉莉奈晓得,那是注入纯水的通道。玻璃罩的上面到和晶圆上的光刻胶为止,现在应当已经注满了高纯度的去离子水。
颠末穿戴防尘服和除尘通道以后,三小我进入了尝试室内部。鹤田望着这庞大的地下空间,不由得有些眼晕。究竟上这类密闭的地下空间,也确切比较轻易引发一些人的心机反应。
周硕瓮声瓮气的声音,从防尘面罩前面陆连续续的传了出来:“这是泛翰研讨所的蜂巢尝试室,卖力光刻机沉浸式技术的研发。沉浸式的研发要点统共有三个部分,别离是光源、镜头和防水光刻胶的研制。”
与此同时他本身也站在光刻机另一边的机柜旁,开端在键盘上操纵起节制电脑来。白石茉莉奈对尼康自产的光刻机当然非常熟谙,在周硕的批示下也很快对光源体系停止了设置。
跟着设置的结束,一旁储存晶圆的柜子里,在纤细的电机声中俄然转动了起来。一片晶圆在机器手的操纵下被奉上了光刻台,已经涂好光刻胶的晶圆在对准体系的操纵下,进入了筹办接管激光晖映的位置……
“没错,我聘请鹤田先生和白石经理,一起观光我们泛翰研讨院的尝试室。”周硕笑眯眯的必定答复道。
“这个……”鹤田有些踌躇了起来,不甘心的说道:“目前还只是猜想,明天见过周桑以后再下定夺吧。”
也就是说intel在1997年的时候就要动手进级出产线,非论是尼康也好,阿斯麦也好,在0.25微米工艺上都是只差临门一脚。
但是在如许高雅的环境里。鹤田却完整没有一丝赏识的表情。他和白石茉莉奈远远的吊在带路人的前面,小声的用日语在扳谈着。
公然,周硕指着这台两人高的机器说道:“二位,这就是我们泛翰研讨院改装以后,机能已经达到0.35微米的尼康光刻机了。”
尼康的行动还是很快的,毕竟留给他们的时候并不是很多。
周硕挑了挑眉毛,想都没想的点头道:“当然能够,实际上我正想演示一下它的运转过程。如果便利的话,白石经理请你帮手操纵一下中间的光源体系。”
“鹤田专务、白石经理,几天不见辛苦二位来往驰驱了。”周硕驯良的笑着,刻薄的笑容看起来仿佛是座弥勒佛。
他想了想,有些担忧的说道:“从中国电子产业部和国防科工委要求制止沉浸式光刻技术出口开端。到周桑抛出来的建厂计划,以及比来在中国高层中获得的停顿来看,我很担忧这又是一次诡计。目标能够是为了我们的出产技术,又或者是想要我们供应更先进的光刻机设备。”