说完,他也不睬白石茉莉奈的反应,转过身来向鹤田问道:“我不说的话,想必鹤田先生必定是在思疑,我们泛翰个人又在耍把戏棍骗尼康的技术吧?”
与此同时他本身也站在光刻机另一边的机柜旁,开端在键盘上操纵起节制电脑来。白石茉莉奈对尼康自产的光刻机当然非常熟谙,在周硕的批示下也很快对光源体系停止了设置。
在光刻机最后一组镜头的上面,有别于尼康的设备,泛翰研讨所的光刻机分外多出了一个玻璃罩。玻璃罩的摆布有两个小水管。白石茉莉奈晓得,那是注入纯水的通道。玻璃罩的上面到和晶圆上的光刻胶为止,现在应当已经注满了高纯度的去离子水。
算上尼康让渡的0.5微米技术。以及泛翰个人把握的沉浸式光刻技术,最多也就是能实现0.35微米工艺罢了。
“鹤田专务、白石经理,几天不见辛苦二位来往驰驱了。”周硕驯良的笑着,刻薄的笑容看起来仿佛是座弥勒佛。
周硕站在一旁,双手抱胸看向两小我,不咸不淡的笑道:“如何样,我们泛翰个人对尼康光刻机的改革,白石经理还看得过眼么?”
颠末穿戴防尘服和除尘通道以后,三小我进入了尝试室内部。鹤田望着这庞大的地下空间,不由得有些眼晕。究竟上这类密闭的地下空间,也确切比较轻易引发一些人的心机反应。
同理,要中国当局承诺出口0.25微米光刻机。这本来就是空对空的事情。想出口?行啊,归正我们现在还没有这个技术呢。
尼康的行动还是很快的,毕竟留给他们的时候并不是很多。
“周总。”鹤田和周硕握过了手,四下打量一下问道:“这是那里?我觉得我们是要在办公室见面。”
周硕挑了挑眉毛,想都没想的点头道:“当然能够,实际上我正想演示一下它的运转过程。如果便利的话,白石经理请你帮手操纵一下中间的光源体系。”
公然,周硕指着这台两人高的机器说道:“二位,这就是我们泛翰研讨院改装以后,机能已经达到0.35微米的尼康光刻机了。”
白石茉莉奈抓住机遇,俄然打断了周硕的话说道:“周桑,我能离近了察看一下吗?”
也就是说intel在1997年的时候就要动手进级出产线,非论是尼康也好,阿斯麦也好,在0.25微米工艺上都是只差临门一脚。
“你要带我们观光泛翰个人的沉浸式光刻技术?”鹤田瞪大了眼睛,不成置信的问道。
他明天穿了一身研讨员穿的白大褂,和海内惯常的棉布料白大褂分歧,他这件格式上固然没有甚么特别,但整小我穿起来却显得格外笔挺。明显在这件白大褂的质料上,是利用了非常高贵的西装面料。
白石茉莉奈皱着眉点了点头。说道:“确切,中国人之前就利用了近似的手腕,泛翰个人通过埋没在华晶身后。获得了我们0.5微米光刻机的成套技术。如果说他们还想获得我们的整套出产设备,以及更先进的、正在研发中的光刻机技术。把合伙工厂设在中国就是一个最好的体例。”
带着如许的迷惑,鹤田和白石茉莉奈双双跟着周硕走进了地下尝试室的大门。
“颠末改装后,它的加工才气达到了0.352微米程度。遗憾的是固然加工才气晋升,但它的良品率也降落了百分之十。”
真正的高纯度去离子纯水有些微微偏蓝,而不是我们惯常见到的透明色。白石茉莉奈只能通过机器操纵的对准体系运转,来判定光刻机是否在事情。因为她是看不到激光色彩的,这是因为光刻的激光高度集合底子不会散射出来,人眼天然也就无看到激光的存在。