牛顿之前，无数人被东西砸了脑袋也没发明万有引力，梁土豪之前，无数的酒鬼醉眼迷离也没想到光刻机的线宽，梁远本身感觉这锅鸡汤炖得还是蛮有风格的。
刘飞扬在纸上龙飞凤舞的写了大半张的算式，然后昂首用没法置信的语气对梁远说道：“大少，如果从西门子引进的设备投产，把大少这个设法放收支产线，我们直接就撵上国际先进水准了～～”
双胞胎的学习成绩向来吊打梁远，光芒的折射又不是甚么特别笼统的东西，在梁远比较较着的提示下，两个丫头几近同时猜到了梁远所言的关头点。
是以此次苏良宇等人此次去西门子构和，遭到了西门子半导体极其热忱的欢迎，和三个月之前的态度的确判若两人，乃至西门子还承诺会在欧洲电子行业内部展开游说，争夺尽早把2微米制程技术撤下巴统的监控名单。
梁远巴拉巴拉的把本身看磁悬浮胶囊列车的光斑投影，在湖面宽窄窜改进而遐想到液体折射和光刻机镜头的事情联络了起来。
“早晨和两个丫头去食堂用饭，内心就一向揣摩着这事儿，那种有件事情健忘了结顿时就能想起来的那种感受你们都经历过吧，我昨晚就是那种～”
“你们说，如果把晶圆丢在水里光刻是不是有助于增大NA值～。”
第二种叫浴缸法，这个别例和梁远方才说的灵感近似，就是把整片晶圆都丢在水里，装晶圆的容器→浴缸跟着晶圆事情台挪动。
“我来吧～”
“这个题目我来处理。”
“明天，听大师会商193光源壁垒时，脑袋里就闪了个动机畴昔～”
镜头上加水这玩意一旦捅破了后边差未几是一马平地，对于技术大佬三人组随便拿张纸就能算出来这东西的远景。
“不过这个灵感就是闪了一下，然后就被我忘了～”
“嗯，走，和我下楼说～。”
“嗯，是吖～”
“宁叔，我在港基集电这边开技术集会呢，如果不出不测，今后的保密级别应当是绝密。”
实际上，哪怕没有梁远滋扰汗青，在九一年的下半年巴统构造本身就开端会商，把2微米制程技术对共和国开放绿灯的可行性。
王欣完整的一副天下窜改这么大，仿佛俄然见了鬼的模样。
“啊～啊～啊～猪头好短长！”
梁远也没铺垫直入主题。
梁远给了个提示。
“小远你是说用水窜改光源的线宽～”
梁远假模假样的问了一句。
“颠簸的启事应当是风吹的嘛。”
欢畅的两个丫头微微昂首嘉奖了梁远两个亲亲。
梁远笑着说道。
双胞胎异口同声的问道。
“稍等稍等，一会来车你俩就明白了～。”
“如果把磁悬浮胶囊列车看作光源，那么这个不断窜改宽度的光芒投影你俩能遐想起甚么？”
梁远重重的点了点头。
水的折射率是1.44，港基集电目前营运的晶圆出产线线宽是5微米，如果像梁远所言的直接在水里光刻都不消变动光刻机的镜头组数和改换新光源，直接就能把线宽变成3.5微米。
新世纪以后，浸入式光刻机的国际支流线路采取了喷淋法，不过以港基集电目前的气力来讲，第二种浴缸法才是最合适的，新世纪以后尼康和艾斯摩尔之以是选了喷淋法线路，一个是两家紧密加工和紧密节制的水准高没门槛，另一个是国际上现存的光刻设备大部分都是这俩家卖的，当然是进级本钱越低进级体例越简朴越好。
王欣所言超纯水的纯度差未几微观到了分子级别，起码得把水中的重水全都分离出去，共和国能出产这玩意的部分怕是只要核产业部一家无能。